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技术规格展示

参数
TGV规格
材料玻璃、石英等
晶圆尺寸4”、6”、8”、12”等
最小厚度0.2mm(<6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”)
最小孔径20μm
通孔斜度3~8°
通孔间距50μm、100μm、150μm等
最大深宽比1:10
金属镀层可加工

* 备注：可以根据客户需求定制

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